特种气体是为满足特定用途的气体，包括单一气体或混合气体。单一气体有259种，其中电子气体115种，有机气体63种，无机气体35种，卤碳素气体29种，同位素气体17种。其中电子特种气体在工业生产、电子信息产业中充当重要的角色。

  电子特种气体属于工业气体的一个细致划分领域，与工业气体产业链类似，电子特气产业链上游主要为原材料与制备设备，中游为加工处理环节，下游为半导体制造、电子信息制造等产业。

  中国电子特气产业链各环节的参与公司数众多，产业链上游空分设备企业主要深冷股份宏盛股份建龙微纳等，工业废气原料相关上市企业主要有天壕环境中创环保等;产业链中游海外企业最重要的包含空气化工、林德集团等，国内企业最重要的包含杭氧集团、华特气体和远气体等;产业链下游环主要为半导体制备企业，主要有晶盛集团等。

  从我国电子特气产业链企业的区域分布来看，电子特气产业链企业主要分布在东部地区，其中以山东、江苏、广东省布局最密集，浙江、河南等地分布数量也相对较多。

  从代表性企业分布情况去看，江苏、浙江、上海等地代表性企业较多，主要为中游环节的电子特气制备企业与下游的半导体制备企业，比如集中于江苏省的金宏气体南大光电扬杰科技、天龙光电等。

  从行业上市公司中已披露的电子特种气体业务营业收入对比来看，南大光电和华特气体的电子特种气体相关这类的产品收入占比较高，超过70%，别的企业除了从事电子特种气体业务以外还经营其他电子专用材料相关业务。

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