证券之星音讯,中泰股份(300435)10月27日在出资者联络平台上答复出资者关怀的问题。
出资者:英特尔、三星、美光、台积电等芯片巨子的很多电子气设备中中心的板翅式换热器均由公司供给。请问这些电子气设备是否是EUV光刻机使用时的有必要配备的配套设备?
中泰股份董秘:您好,公司电子气设备不光可以适用于大宗的电子维护气,也具有制取氪气氙气等稀有气体的才能。部分稀有气体亦是刻蚀气体的重要组成部分。
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